本报讯 全球首个纳米级微振动实验室日前在河北雄安新区正式投运，将全面服务于半导体制造、航空航天、精密仪器、生物医药等重点领域，推动我国高精密制造“软实力”与“硬装备”协同提升。这是国投集团在先进电子制造领域布局打造的国家级科技创新平台。

据悉，纳米级微振动实验室该实验室核心装置为我国自主研发的全球尺寸最大、精度最高的微振动模拟实验台。实验台平面尺寸达4米×4米，台体自重约50吨，设计承载能力高达20吨，振动精度突破纳米级，最小振动幅值远低于地球自身脉动，可全面满足大型半导体设备整机及卫星全尺寸载荷的上台测试需求。

实验台采用中国电子院自主研发的空气弹簧主动隔振系统，可高效隔离地基及建筑结构的环境振动干扰，在台面上构建超纯净微振动环境。实验台配套高精度直线电机作动器，可在宽频率范围内，实现0.001伽至5伽的加速度精密输出，能够精准模拟极微弱背景环境振动，全面覆盖电子信息、航空航天等核心领域应用的全频段、全幅值区间。

同时，实验台具备正弦波、随机波、扫频波等丰富波形模拟能力，可实现单方向精确模拟与三方向同步模拟。其不仅能开展特定频率的精细化分析，也可还原复杂真实环境下多自由度耦合的随机振动场景，为科研攻关与装备验证提供了高度贴合实际工况、灵活可控的实验条件。